diff --git a/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_common.c b/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_common.c
index da8c28066820..96bc61a85e3e 100644
--- a/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_common.c
+++ b/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_common.c
@@ -2779,12 +2779,15 @@ void himax_chip_common_deinit(void)
 	himax_debug_remove();
 #endif
 
-	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_TOUCH_FOLDER, NULL);
 	himax_common_proc_deinit();
+	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_TOUCH_FOLDER, NULL);
 
 	if (!ts->use_irq) {
 		hrtimer_cancel(&ts->timer);
 		destroy_workqueue(ts->himax_wq);
+	} else {
+		himax_int_enable(0);
+		free_irq(private_ts->client->irq, ts);
 	}
 
 	himax_sysfs_touchscreen(ts, false);
diff --git a/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_debug.c b/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_debug.c
index d86bf34f4b7a..c7cd300b6841 100644
--- a/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_debug.c
+++ b/drivers/input/touchscreen/himax_mmi/himax_debug.c
@@ -2612,6 +2612,7 @@ void himax_touch_proc_deinit(void)
 	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_DD_DEBUG_FILE, himax_touch_proc_dir);
 	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_REGISTER_FILE, himax_touch_proc_dir);
 	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_DIAG_FILE, himax_touch_proc_dir);
+	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_DIAG_ARR_FILE, himax_touch_proc_dir);
 	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_RESET_FILE, himax_touch_proc_dir);
 	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_LAYOUT_FILE, himax_touch_proc_dir);
 	remove_proc_entry(HIMAX_PROC_INT_EN_FILE, himax_touch_proc_dir);